X射線熒光分析儀（XRF）是一種基于X射線熒光光譜法的元素分析儀器，廣泛應用于地質勘探、材料檢測、環境監測等領域，可實現對樣品中多種元素的快速定性與定量分析。其核心原理是利用激發源產生的高能X射線轟擊樣品，使樣品中原子的內層電子發生躍遷，進而輻射出特征X射線（熒光X射線），通過檢測特征X射線的波長（或能量）與強度確定元素種類及含量。

具體過程分為三步：一是激發，X射線管產生的初級X射線光子撞擊樣品原子，將內層（如K層、L層）電子擊出，形成電子空位；二是躍遷，原子外層電子自發躍遷至內層空位，以釋放能量達到穩定狀態；三是熒光輻射，躍遷過程中釋放的能量以X射線光子形式輻射，即熒光X射線，其能量等于內外層電子的能級差，具有元素特異性。

核心相關公式包括：1. 莫塞萊定律，用于表征特征X射線波長與元素原子序數的關系，表達式為√(1/λ) = K(Z - σ)，其中λ為特征X射線波長，Z為元素原子序數，K為與能級相關的常數，σ為屏蔽常數；2. 熒光強度定量公式，I = k·c^n，其中I為熒光X射線強度，k為與儀器參數、元素激發效率相關的常數，c為樣品中目標元素含量，n為校正系數（理想條件下n≈1），該公式是定量分析的基礎，實際應用中需通過標樣校準消除基體效應影響。